光电技术研究所很早就开始研发光刻机，奈何相比海外始终落后大截。
根本不具备制造高端芯片的能力。
其中对光源的研究更是有局限，很难提升光源的功率并且保证稳定输出。
丝毫不夸张的讲，若不是有徐昀加入项目组，就凭氟化氙光源都要让他们研究许久。
毕竟能制造出氟化氙光源没啥厉害的，关键要能保证功率和持续性的稳定输出。
无法保证光源稳定的话，功率最大值哪怕再大都无法用于极紫外光刻机。
单凭这点便足以证明徐昀的实力。
但要说会议室内此刻谁的情绪波动最大，那肯定属刘星和另外几位博士后研究员助理。
就差把心里想法写到脸上。
因为徐昀并没有把方案复制太多份，刚才也就只有罗长辉等几位研究员看到。
突然看见包括罗长辉在内的研究员在看完文件后都是这么个反应，他们心里难免会感到非常好奇，尤其后面听到和光源有关，情绪波动的更加激烈知道这绝对是个大消息。
最终只见刘星率先按耐不住，投过视线主动向徐昀询问起来。
“那个徐教授，这份方案我们可以看吗？”
徐昀自然没有忘记他们这些研究员助理，既然都属于项目组成员肯定有知情权。
再说大家一起努力才能加快进度。
本来他是打算会议结束后在让各研究员去说，既然都那么期待提前也没关系。
念头停留在这里徐昀并没有迟疑什么，当即拿起自己面前的方案递了过去：“你们现在想看那就看吧。”
“谢谢徐教授。”
刘星并没有在这种时候选择推辞，闻言连忙走上前接过文件和身边人分享。
能进入到光学技术研究所博士后流动站，刘星等人可不见得有多么差劲，和杨靖等研究员相比无非是经验和资历上的差距。
对于文件中的内容自然会有自己的判断，知道是否具备实验价值。
可能是找到光源研究方向心情比较高兴缘故，罗长辉杨靖等研究员并没有表现出不耐烦，而是耐心等待刘星和其他博士后大致看完文件。
不知过去多久，刘星率先回过神来，把文件递给身旁的人后立刻看向徐昀。
目光中满是敬佩和激动。
“徐教授您太厉害了，没想到那么快就有了氟化氙光源的制作方法。”
话音刚落，其余人也不甘示弱纷纷开口。
“没想到还可以用这种方法来解决氟化氙光源的制造难度问题，我以前竟然没有任何这方面的想法。”
“有了这份方案，我们是不是很快就能制造出稳定的光源。”
“我已经迫不及待想参与实验了。”
而这时没等徐昀开口回答，坐在旁边的罗长辉主动出声讲道：“现在可还不是我们值得庆祝的时候，起码要得到详细的氟化氙测试结果才行，接下来大家先暂时停止手上的事情，全力制造氟化氙光源装置。”能看出他整个人的激情已经被调动出来。
罗长辉所说的事情正是徐昀接下来的安排，因此便顺着补充了句。
“那么今天的会议就到这里，接下来的时间我想大家应该要有的忙了。”
说完会议也正式结束。
今天把项目成员都喊过来参加会议，主要是商议氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已经集体通过，那自然没必要继续浪费时间。
何况相信大家经过刚才的事情后，都已经迫不及待想动手了。
毕竟自己能参与到国产首台极紫外光刻机诞生可是件充满荣耀的事。
当然实际情况也正是如此。
会议结束后在徐昀的带领下，大家都被安排任务。
立刻着手氟化氙光源的制造。
——
和从零开始制造氟化氙不同，前者需要不断试错承担功率较小或者无法长时间保持稳定输出的结果，这个过程除了需要大量投入外，还非常浪费时间并且最终得不到任何结果都正常。
但徐昀他们完全不同。
有那份设计方案作为依靠，这就相当于开卷考试。
他们进行的过程就是把答案抄在试卷上，基本不需要费太多精力。
加上还有徐昀亲自参与，几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。
并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。
“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”
2020年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。
光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。
这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。
认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。
可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。
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