方程在办公室里收拾了一下，正待下楼去工作间，却接到了宁松的电话。
"方子，快过来救场啊！"宁松在手机里低声道。
"怎么了？失火了？"方程站在电梯门口问道。
宁松低声道："昨天，这些光电所的专家们还只是参观一下。今天来了之后，问了我们工程师好几个问题。
我也不知道回答的怎么样，只是看对方的脸色，估摸着这是对咱们有些轻视啊。"
方程进了电梯，继续说道："轻视就轻视吧，咱们有必要跟他们争论这个吗？做好咱们自己的事情就行了。"
宁松却道："他们轻视咱们倒是无所谓。可等咱们再发布什么新技术之类的，难免他们会在背后提质疑或者说些怪腔调啊！
方子，人言可畏啊！"
方程出了电梯，边走边说道："行，那你带他们上3号会议室吧。我过会儿就过去。"
宁松挂了电话后，转了个弯，然后快步走了过去。
"各位，我们方总，请大家去会议室去坐坐，顺便详细的解答一下大家的疑问。
请大家跟我到这边来。"
…
方程来到3号会议室时，会议室里却是一片安静。
宁松见方程进来，连忙介绍道："这位就是我们公司的技术总裁方程，方总！"
会议室里的人只是纷纷看过来，既没有掌声，也没有窃窃私语声。
方程笑着跟大家点头示意了一下，正待坐下，这时有人说话了。
"方总，前段时间你说你们研究出激光辅助放电等离子技术，成功获取了13.5纳米波长的激光。
我现在有几个问题想问你。你们是怎样…"
方程看了对方一眼，没有回答。而是问道："你是哪家光电所的？"
那人明显一顿，然后道："我是江源光电所的。"
方程环视了会议室一圈，说道："大家来参观交流，我和公司全体同仁是欢迎的。
技术研究嘛，不是闭门造车。只有经常进行一些技术交流和分享，才能更好更快地推动技术的发展和进步。"
说到这里，他顿了顿，继续说道："可做为客人，对主人起码应该有些最起码的尊重吧？
你们可以不认可我们的技术路径，但不能因此就认为我们的技术不行。
我们的技术你真的懂吗？
懂，你们也早就弄出来了。
不懂，那就应该抱着谦虚请教的心，而不是在主家横挑鼻子竖挑眼！"
方程的一席话，让会场的人都有些如坐针毡，很不自然。
他们做为行业中的翘楚，走到哪里那都是被人捧着哄着，什么时候被人这样批评过？
可他们也是有气撒不出。因为方程说的也是事实。他们自己扪心自问，自己确实有些喧宾夺主了。
方程没在这个问题上继续说一下，而是道："我将大体的思路跟大家说一下，然后我们再一起讨论。
现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术，这个我就不多说了。主要讲讲放电等离子体技术。"
方程坐在那里开始了他的介绍。
放电等离子体技术，其实就是通过快脉冲、大电流对介质放电，然后形成高温高密度等离子体，从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。
而根据放电方式的不同，放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术、中空阴极管放电技术、毛细管放电等离子体技术、激光辅助放电等离子体技术。
激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源，用锡做为工作介质，用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体，形成放电通道…
方程大概讲了一遍后，继续道："国外在几年前也有过此类的研究，相信大家也有耳闻。
虽然放电等离子体技术有诸多优点，比如光源结构简单，投资运营成本低，适合大规模工业应用等。但它的缺点同样很多。
比如说，碎屑控制、重复频率、放电条件下光源稳定性、增大光源输出角等问题。"
在座的众人纷纷点头。这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。
"我们公司根据其缺点，逐一进行了解决！"
此言一出，会议室内顿时一片倒吸冷气声！
如果真如方程所说，这些问题都解决的话，那可以说，国外那所谓的封锁，在以后就只是个笑话而已。
毕竟相比阿麦斯的光刻机来说，其光源上面临的困难也是很多的。
他们之所以放弃激光辅助放电等离子体技术，就是因为这些难题一直得不到解决。
大家连忙屏气凝神，静待方程的讲解。
"先来说一下关于碎屑的控制问题。大家都知道碎屑的产生是因为激光轰击锡物料所产生的。
这种碎屑一旦沉积在反射镜表面，就会影响到极紫外光的输出功率，从而影响光刻效率，降低光刻机的使用寿命。
有研究机构提出，可以利用加磁场来降低离子动能。但这只对带电离子有效。
也有提出充加缓冲气体，来增加原子和离子的阻力。效果有吗？有，可是不大。"
众人听了纷纷点头。
"我们另辟蹊径，采用了一种全新的技术理论，浮游离子吸附加力引导！
通过这种技术，可以有效地降低碎屑的单位密度，从而做到对碎屑有效控制。"
方程说完，继续道："我们再来讲一下关于重复频率的问题…"
"等等。"一名老者举手示意道："方总，你能不能将这个浮游离子吸附加力引导，详细地讲一下？"
方程看了看大家希翼的神情，无奈地说道："大家的想法我知道。可是这是我们公司的机密技术，在这里实在不方便过多透露。"
有人马上问道："方总，你的意思是说这项技术你们没有申请专利吗？"
方程点了点头道："没有。大家都知道申请专利，是需要将技术完全展示的。
在我们还不具备制作出完整光刻机以前，这项技术我们是不会申请专利的。
希望大家能够理解。"
方程向大家表达了一下歉意后，继续讲起了后面的各种问题。
喜欢神工鬼匠请大家收藏：(www.20xs.org)神工鬼匠20小说网更新速度全网最快。