“今天的活,”李辉把一张手写的工艺流程图推过来,“把这层薄膜涂上光刻胶,前烘,对准曝光,显影。把电极图案转移到薄膜上。”
沈听澜看着那张流程图。匀胶,前烘,曝光,显影。每一步旁边标注着参数——转速、时间、温度、曝光剂量。字迹是李辉的,但参数的笔迹是周予安的。瘦的,锋利的,每一个数字都写得清清楚楚。她想起寒假前他提前来踩点,大概就是那时候把这些参数一个一个记下来的。
“谁先来。”李辉问。
沈听澜伸出手。“我。”
她把培养皿放进匀胶机的吸盘里,按了吸附键,基底被稳稳吸住。光刻胶是透明的,黏稠的,她用移液枪吸取定量,滴在基底中央。合上盖子,设置转速——先低速铺开,再高速甩薄。
按下启动。匀胶机嗡嗡地转起来,培养皿在吸盘上高速旋转,光刻胶从中心向边缘铺开,在薄膜表面形成一层极薄的透明涂层。声音从隔音罩里传出来,闷闷的,像一只蜜蜂被关在玻璃瓶里。转速降下来,停稳。
她把培养皿取出来,胶面均匀,没有条纹,没有气泡。周予安在旁边看了一眼,点了一下头。
接下来是前烘。她把基底放进烘箱,温度一百度,时间九十秒。烘箱的显示屏上数字开始跳动,从室温一点一点往上爬。她站在那里看着那个数字,和第一次跑升温曲线时看着管式炉的显示屏一模一样。九十秒到了。烘箱发出轻轻的一声“滴”。她把基底取出来,胶面从透明变成了浅浅的琥珀色,凑近了能闻到一股极淡的溶剂味。
光刻机已经预热好了。周予安把掩模版装进光路里——那是一小块石英玻璃,上面用铬层刻着电极图案,叉指状的,像两只手的手指交叉在一起。他在触摸屏上设好曝光剂量,转过身看着她。
“放上去吧。”
沈听澜把基底放进光刻机的样品台上,对准掩模版的位置。显微镜的视野里,掩模版的图案和基底表面的薄膜重叠在一起,边缘对齐。
她旋动微调旋钮,左一点,右一点,图案稳稳落进预定区域。锁紧样品台。按下曝光键。紫外光从掩模版上方照射下来,穿过透明的石英,穿过铬层镂空的图案,打在光刻胶上。被光照到的部分发生化学反应,变成可溶于显影液的状态。光刻机的快门发出一声极轻的咔嗒。曝光完成。
她把基底取出来放进显影液里。透明的液体里,被曝光的光刻胶开始溶解,极缓慢地,从图案的边缘向中心蚕食。她用镊子夹住基底边缘轻轻晃动,溶解的部分像细小的云絮从胶面上剥离,在显影液里散开。
时间到,她把基底夹出来放进定影液里,光刻胶的溶解停了,被曝光的区域完全去除,露出下面深灰偏黑的薄膜。没被曝光的区域保留着琥珀色的光刻胶,把薄膜保护在下面。叉指电极的图案完整地转移到了薄膜表面。
李辉凑过来,隔着显微镜看了一眼。然后他直起身,口罩上面那双眼睛弯了起来。
“成了。第一次光刻,图案完整,边缘清晰。”他把手套脱下来,在沈听澜肩膀上拍了一下,“你们俩,天生就是干这个的。”
沈听澜把基底放进培养皿里盖好。叉指电极在薄膜表面安静地亮着,深灰色的敏感材料,琥珀色的光刻胶保护层,银灰色的电极图案。
她看着那片比指甲盖还小的玻璃片,忽然想起高考完那天在三中考场走廊里,纷纷扬扬的纸雪从楼上飘下来,落在香樟树冠上,落在水磨石地板上。那时候她以为“结束”是一种很巨大的东西。现在她知道,结束不是。开始才是。
走出微纳加工平台的时候,外面的天已经暗了。法桐树光秃秃的枝丫在晚风里轻轻摇晃,树根底下那圈苔藓在路灯的光里绿得发亮。
“饿了。”她说。
“食堂还有麻辣香锅。”
“去。”
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